陜西新興熱噴涂技術有限責任公司的小編這篇和大家探討一下關于陜西冷熱噴涂技術的一些小知識，一起來看看吧。m.anmeitu.cn 

說到等離子體刻蝕，它是是實現(xiàn)超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)中的微細圖形高保真地從光刻模板轉(zhuǎn)移到硅片上的不可替代的工藝。等離子刻蝕氣體在進行晶圓刻蝕時，也會腐蝕到刻蝕腔內(nèi)的其他零部件，這就要求刻蝕腔內(nèi)的零件具有一定的耐腐蝕性，這些零件大多是鋁制品，傳統(tǒng)的辦法是對鋁制零件進行陽極氧化，但陽極氧化的耐腐蝕性已經(jīng)不能滿足設備的要求，導致零件的更換頻率過高。.近，國內(nèi)發(fā)展為在鋁制零件表面噴涂氧化鋁涂層，雖然提高鋁制零部件的耐腐蝕性，但零件的更換頻率依然很高。

因此，為了提高鋁制零部件的使用壽命，降低零件的更換頻率，需要腐蝕性更強的氧化釔涂層沉積在零件表面。而氧化釔是其中關鍵的粉體材料。氧化釔的化學性質(zhì)非常穩(wěn)定，具有優(yōu)異的耐等離子蝕刻性能，氧化釔涂層對刻蝕工藝腔具有良好的保護作用。此外，氧化釔涂層還可以起到阻碳的作用，用于制備熔煉高附加值合金的石墨坩堝。